半導(dǎo)體行業(yè)屬于硬件產(chǎn)業(yè)，以半導(dǎo)體為基礎(chǔ)發(fā)展起來的一個(gè)產(chǎn)業(yè)，它是信息時(shí)代的基礎(chǔ)。在通訊、計(jì)算機(jī)、電子應(yīng)用等方便均得到廣泛應(yīng)用，現(xiàn)已成為現(xiàn)代科技和人們?nèi)粘５谋匾M成部分。離子注入作為微電子工藝中重要的摻雜技術(shù)，對(duì)材料的高溫性能和耐化學(xué)侵蝕性能要求非常高，因此，電離室主要部件均采用有鎢、鉬或者石墨材料。

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